單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-03-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：510

產(chǎn)品咨詢 19856658785

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

爐式合成設(shè)備

管式爐馬弗爐配氣系統(tǒng)

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

微型立式管式爐的維護管理要點

實驗級回轉(zhuǎn)爐如何實現(xiàn)氧化/還原反應(yīng)的精準控制？

實驗級管式爐在新能源研究中有哪些應(yīng)用？

如何維護和保養(yǎng)機械攪拌高壓釜？

詳細介紹在線留言

品牌	科冪儀器	升溫速度（達到最高溫）	10℃/min
加熱方式	電阻絲	最大功率	3kW
控溫精度	±1℃	最高溫度	1150℃
價格區(qū)間	面議	儀器種類	管式爐
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品特點：

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；

可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。

技術(shù)參數(shù)

型號：TFE - 1200 - 50 - 220

設(shè)計溫度：1150℃（短期）

額定溫度：1100℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

控制精度：±1℃

爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸：Φ80*220mm

加熱區(qū)長度：220mm

恒溫區(qū)長度：80mm

加熱元件：優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲

額定功率：3KW

供氣系統(tǒng)：

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm（可定制）

射頻電源：

①射頻功率：5-500W；

②射頻頻率：13.56MHz；

③匹配方式：自動匹配

真空系統(tǒng)：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵分子泵等）

外形尺寸：1250*510*810mm

上一個：TFH-1500-50-2601500單溫區(qū)管式爐

返回列表

下一個：CFRD多功能桌面式固定床

在線留言

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品特點：

技術(shù)參數(shù)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：