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      當前位置:首頁產品中心爐式合成設備管式爐單溫區PE-CVD系統

      單溫區PE-CVD系統
      產品簡介

      單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。

      產品型號:
      更新時間:2025-03-18
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:390
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      品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)10℃/min
      加熱方式電阻絲最大功率3kW
      控溫精度±1℃最高溫度1150℃
      價格區間面議儀器種類管式爐
      產地類別國產應用領域化工,生物產業,石油,能源,制藥/生物制藥

      單溫區PE-CVD系統

      產品特點:

      單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;

      滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;

      可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。


      技術參數

      型號:TFE - 1200 - 50 - 220

      設計溫度:1150℃(短期)

      額定溫度:1100℃

      推薦升溫速率:≤10℃/min

      控制精度:±1℃

      爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

      爐膛尺寸:Φ80*220mm

      加熱區長度:220mm

      恒溫區長度:80mm

      加熱元件:優質國產電阻絲

      額定功率:3KW

      供氣系統:

      ①三路高精度MFC

      ②量程0-500sccm(可定制)

      射頻電源:

      ①射頻功率:5-500W;

      ②射頻頻率:13.56MHz;

      ③匹配方式:自動匹配

      真空系統:雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)

      外形尺寸:1250*510*810mm

      單溫區PE-CVD系統


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